ملخص الجهاز:
"از عواملی که در تغییرات ضریب مقاومت ممکنستموثر باشد،نسبت فشار به سرعت نشستن فلز- R/P است زیرا این نتیجه نسبت سرعتهای ناخالصیهاو فلز در برخورد به قرصهای سیلیسیم است!اما تاکنون رابطۀ مشخصی بین R/P و P در حوزۀ (به تصویر صفحه مراجعه شود)و A/ces rroT 7-01-5-01-R/P( دیده نشده است،در واقعبهتر است که اثر گازهای فعال موجود،اکسیژنو بخار آب را،به جای فشار کل در نظر گرفت.
>RCO<(به تصویر صفحه مراجعه شود)در حالیکه جریان از طریق مکانیزم ترمیونیک )noissime cinoimrehT( عبور بارها از روی سد پتانسیل ایجاد شده باشد oR مستقل از دانسیتۀ خالصیها بوده و برابر استبا:>RCO<(به تصویر صفحه مراجعه شود)که C مقدار ثابت، K ثابت بولترمن )namztloB(،bp( انرژی لازم برای عبور ازسد پتانسیل و آدمای مطلق است وقتی که حالتتونل زدن از سد پتانسیل حاکم باشد، oR به شدتبه دانسیتۀ ناخالصیها N بستگی داشته از عاملدما تقریبا مستقل است و میشود آنرا به صورت(به تصویر صفحه مراجعه شود)نوشت.
برای جلوگیری از نشست و ایجاد پستی و بلندیاز یک پوشش سخت که به خوبی لایۀ فلز را در بربگیرد استفاده کرد این روش با لایۀ اکسیدسیلیسیم نتایج متناقضی میدهد اما ایجاد پوششآلومینا 3OA به طریق آنداسیون منجر بهافزایش طول عمر شده است.
راهحل این مسأله ملایم نمودن شیب لایۀ زیریناز طریق کنترل نسبت سرعت خورش عمقی و جانبی لایۀفلزی است در این صورت لایه اکسید بین دو فلز ضخامتیکنواختی در همه جا خواهد داشت البته لبههای لایهاکسید نیز در نقاطی که روزنهای به لایۀ زیرین بازمیشود دارای شیب کمی باشد."